普通的压阻式压力传感器其敏感控测惠斯顿电桥的四个力敏点阻是用集成电路工艺制造的，电阻间用PN结相互隔离。由于受到PN结耐温限制，zui高使用温度仅125°C，而实际上由于PN结反向漏电流随温度的指数上升关系，在温度超过100°C后，传感器性能已大大劣化，这限制了普通压阻传感器的可用温度范围。利用厚薄膜技术制作力敏电阻，可将使用温度扩展至125°C；利用多晶硅SOI技术制作力敏电阻，可将使用温度扩展至150°C；利用传统SOS技术和先进的SOI技术可将使用温度扩展至180°C—350°C；利用zui新的β相高温力敏材料碳化硅与SOI技术的结合，可将使用温度扩展至450°C—850°C，本系列产品是利用德国HELM公司的国际先进传感器，配合高精度电子元件，经严格的工艺过程装配而成。
高温压力变送器产品特点
◇全不锈钢外壳，卓越的抗腐蚀性能
◇ 压力测量范围宽
◇ 温度测量范围宽，温度误差极小
◇ 工作稳定 抗干扰能力强
◇ 可靠性高，双膜片结构
◇ 外形尺寸小，重量轻，类型齐全
◇ 反相极性过压过流保护
◇ 测量介质范围广
高温压力变送器产品性能
测量范围 | 0~10KPa...100MPa |
过载能力 | 2倍满量程压力(其中100MPa的产品过压为1.1倍满量程压力) |
压力类型 | 表压或绝压或密封参考压力 |
测量介质 | 与316不锈钢兼容的气体或液体 |
综合精度 | ±0.25%FS | ±0.5%FS | ±1%FS |
使用温区 | -40°C~+150°C | -40°C~+200°C | -55°C~+250°C | -25°C~+350°C |
补偿温区 | -20°C~+130°C | -20°C~+180°C | -20°C~+200°C | 0°C~+250°C |
长期稳定性 | 典型：±0.1%FS/年 | zui大：±0.2%FS/年 |
零点温度漂移 | 典型：±0.02%FS/℃ | zui大：±0.05%FS/℃ |
灵敏度温度漂移 | 典型：±0.02%FS/℃ | zui大：±0.05%FS/℃ |
供电范围 | 12~36VDC（一般24VDC） |
信号输出 | 4~20mA / 1~5V DC / 0~5V DC |
负载电阻 | ≤(U-12)/0.02 Ω |
响应时间 | ≤3 ms |
热迟滞 | ±0.1%（典型） |
外壳防护 | 插头型（IP65）； 电缆型（IP67） |
安全防爆 | Ex iaⅡ CT5 |
HQ-2088高温压力表结构示意图
